煙台(tai)柳州特(tè)宇激光(guang)设备集(ji)团
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蒸鍍的(de)物理過(guò)程包括(kuo):沉積材(cái)料蒸發(fā)或升華(huá)爲氣态(tai)🈚粒子→氣(qi)态👄粒子(zi)快速從(cong)蒸發源(yuan)向基片(piàn)表面輸(shū)送→氣态(tai)粒子附(fù)着在基(ji)片表面(miàn)形核、長(zhang)大成固(gù)體薄膜(mó)→薄膜原(yuán)🤟子重構(gòu)或産生(shēng)化學鍵(jiàn)合。

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